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SPA 25 三维形貌仪是德国 dataphysics 公司新推出的一款三维表面测量仪器,基于白 光干涉原理,最小垂直分辨率可达 0.1nm。

自动样品台:

软件或操作杆控制自动样品台可精确测量定位,并能实现大面积测量的自动移动和拼接 功能,最大测量面积为:300mm*300mm。

【带操纵杆的电动样品台】

软件:

MountainsMap Imaging Topography software 强大的测量和分析软件可完成所有表面分 析的要求。计算表面结构和表面粗糙度符合不同的工业标准,如:ISO25178,ISO4287, ISO13565,ISO16610 等。

【SPS 25 表面轮廓软件】

应用范围广:

由于结合了高的测量分辨率,快的测量速度和强大的分析软件使 SPA25 三维形貌仪具有 非常广的应用范围。如大面积样品的 3D 表面形貌测量,表面缺陷测量,表面结构测量, 表面粗糙度测量等。

显微镜物镜 :

SPA 25 使用 Mirau 干涉仪显微镜物镜。这些物镜具有不同的放大倍数,这些放大倍数会 影响 XY 尺寸的分辨率。请注意,由于利用了白光干涉测量技术,Z 维度的分辨率与放大 倍数无关。

【10x 和 50x 显微镜物镜】

技术参数:

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